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        高純氣體管道系統管路連接及閥門選擇規范

        2019-03-07

          高純氣體管道系統管路連接及閥門選擇規范

          高純氣體管道系統使用的越來越多,高純氣體管道連接很講究,該怎么連接,氣體管道之間閥門如何選擇閥門,高純氣體管路系統該怎么布置,這里都將詳細介紹。

        閥門

          高純氣體管道連接方式及閥門選擇

          純度在 99.9999%以內的氣體管道 ,采用304不銹鋼球閥,可以采用法蘭連接 ,法蘭墊片為軟金屬墊片、聚四氟乙烯墊片、總雜質含量≤10ppm的氣體管道, 采用用隔膜閥和波紋管閥。 可燃爆炸性的氣體必須采用波紋管閥。 閥門采用卡套連接,軟金屬整片。

        高純氣體管道連接

          高純氣體管路連接

          為確保輸送至用氣設備的氣體質量,高純氣體管道與用氣設備之間應用不銹鋼金屬軟管連接,不宜采用非金屬軟管。

          法蘭連接

          氣體管道與設備、管道與閥門的連接,在一些要求不高的氣體管道可以采用法蘭連接,墊片使用軟金屬墊片或聚四氟乙烯墊片。 由于石棉會產生粉塵而橡膠的透氣性大和吸水性強而且容易老化, 所以不采用石棉墊片或橡膠整片。

          表面密封連接件連接

          法蘭連接時氣體和密封材料接觸面大 ,表面磨損也較大, 所以對于高純氣體管道不采用法蘭連接。大多采用表面密封連接件,絕大多數采用 V CR 密封件形式。

          VCR 連接方式

          氣體不接觸 密封材料, 流通表面幾乎沒有磨損 ,它是縱向壓力進行壓緊,選用質量優 良的金屬墊 ,便可以做到很好的密封不泄露、污染少 ,因此得到廣泛采用。 選用時做到連接件材料與主管材料一致 ,內表面光潔等級一致。

        氣體管道系統

          高純氣體管道系統布置

          高純氣體管道系統布置不同于普通氣體管道,一般要求管線不應大長,不應出現不易吹掃干凈的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端設置必要的吹除 口和取樣 口。在一些非連續運行的用戶, 在管道末端連續不斷的小氣量放空, 以使管道內氣體常流動,不會出現“ 死空間”。

          根據過程氣體質量要求, 必要時還要布置末端凈化裝置。一 般在進入潔凈廠房的高純氣體管道的控 制閥門 、過濾 器 、減壓 裝置 、壓力表 、流量計 、 在線分析儀器等 , 集中設在氣體人口室內,便于統一管理和控制。

          


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