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        大宗特氣系統(BSGS)設計

        2019-03-07

          大宗特氣系統(BSGS)設計

          大宗特氣系統(BSGS)是電子工業控制氣體純度的新方法,在控制純度的同時也提高了供氣安全。大宗特氣系統(BSGS)設計有很多注意的地方,這里介紹一些。

          引言:

          隨著電子消費品的升級換代,產品制造尺寸越來越大,產品成品率和缺陷控制越來越嚴格,整個電子工業界對電子氣體氣源純度,以及杜絕輸送系統二次污染的要求越來越苛刻?;旧瞎I界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標,直接與分析儀器技術進步帶來的zui低檢測極限(LDL)相關聯。如傳統的激光顆粒測試儀可測到0.1微米,而核凝結技術(CNC)可達到0.01微米。由此帶來的影響便是大宗氣體的純度要求也越來越高,從氣源端直接控制是zui好的方法。

          關鍵詞:

          大宗氣體,儲存,系統設計

          大宗特氣系統(BSGS)設計參考

          1、應該設置獨立的氣(液)瓶、儲罐或長管拖車及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、鏈接回形管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮氣單元、電氣控制柜等裝置;

          2、大宗特種氣體系統的功能配備應該和特氣系統管路一致;

          3、液態氣瓶的大宗特種氣體系統應設計鋼瓶加熱與保溫裝置;

          4、大宗特種氣體應在減壓前對氣體進行預熱。

          結語:

          大宗特氣系統(BSGS)的應用受益于污染控制的進步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續性,降低了屢次充裝的污染風險,其次在氣站建設時候做好每個獨立單元模塊的功能架構,使得大宗氣體也可以保持最高的純度。另外,液態氣體使用前的預熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。


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