<noscript id="0hvc5"></noscript>
  • <table id="0hvc5"></table>

        <optgroup id="0hvc5"><input id="0hvc5"></input></optgroup>

        <dd id="0hvc5"><input id="0hvc5"></input></dd>
        <ruby id="0hvc5"></ruby>
        歡迎走進蓋斯帕克氣體技術!
        中文  |  English

        硅烷的控制系統設計應該注意哪些因素

        2019-03-04

          硅烷的控制系統設計應該注意哪些因素

          硅烷在高科技種應用越來越廣泛,硅烷有什么作用,硅烷控制系統設計有哪些要求?這里將進行介紹。

          硅烷之所以在高科技中被廣泛應用并且越來越重要, 首先是與它的特性有關,同時也與現代高技術的特殊需求有關。通過熱分解或與其它氣體的化學反應,

          硅烷的作用

          1、可由硅烷制得單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質。

          2、利用硅烷可以實現zui高的純度、zui精細(可達原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學反應。從而將各種含硅材料按各種需要制成復雜精細的結構, 這正是現代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

          硅烷控制系統設計規范

          1、硅烷由于其極其危險性,整套系統應該設置獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃,不得采用管道氮氣吹掃;

          2、應該配備惰性吹掃裝置、氣體泄露偵測器、火焰探測器等;

          3、硅烷系統的排氣管不得接入排風系統;

          4、排氣管應采用惰性氣體連續吹掃,吹掃氣體流速不得小于0.3m/s

          5、排氣的硅烷濃度較高時,應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。


        久久精品观看_在线国产91_国产亚洲欧美精品久久久_成人国产精品999视频