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        閥門分配箱的設計

        2019-02-28

          閥門分配箱的設計

          閥門分配箱主要用于氣體分配,這里主要介紹下閥門分配箱的應用等相關知識。

          閥門分配箱應用

          閥門分配箱(VMB)多用于特種氣體的輸送中。在半導體、光伏太陽能、IC芯片等生產領域,VMB廣泛的應用于諸如磷烷、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、乙烯等易燃易爆、毒腐性氣體的分配當中。

          閥門分配箱發展

          近幾年來,智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解,我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。所以,閥門分配系統的應用會越來越廣泛。

          關鍵詞:

          VMB,特氣系統,分配控制。

          VMB閥門分配箱設計參考:

          特氣VMB應設計進氣管路隔離閥及壓力指示裝置;氣體之路應設有獨立的壓力控制調節閥、過濾器、過流開關;氣體的支路應設有獨立的出口隔離閥;氣體分支路應設置獨立的吹掃氣體裝置、輔助抽真空裝置等。

          惰性氣體方面,應設置進氣管路隔離閥及壓力指示裝置;氣體之路應設有獨立的壓力控制調節閥、過濾器;氣體支路應設有獨立出口隔離閥門。

          閥門分配箱應用領域

          電子氣體,尤其是帶有危險性的特殊氣體,是發展集成電路、光電子、微電子,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料,它被稱為電子工業的“血液”和“糧食”,它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。VMB的引入是特氣一對多,點對面分支的核心單元。不但保證了多點用氣,也最大限度的保證了用氣安全。


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