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        特種氣體尾氣處理方式

        2019-02-26

          特種氣體尾氣處理方式

          特種氣體對身體健康以及環境都會產生很大的危害,如何處理特氣尾氣,用什么設備處理,這里將會進行深入介紹。

          特種氣體尾氣現狀

          尾氣作為特氣系統的衍生物不可避免的存在。過去,在很多高校,由于實驗室用氣量不大,建設單位的業主沒有充分意識到尾氣的排放問題,隨著更多半導體工廠雨后春筍的涌現,生產用特氣尾氣的排放越來越多的引起了重視。那么怎么排放,如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。同時,尾氣處理裝置如何選配,必須具備什么功能,蓋斯帕克研究院通過實際項目經驗,給大家一一闡述。

          關鍵詞:

          尾氣處理;處理方法;多方式組合。

          特氣系統尾氣排放處理裝置的處理方式:

          尾氣處理裝置的類型,應根據所處理的排氣中特種氣體的特性進行選擇,不相容特種氣體應分別設置尾氣處理裝置;

          尾氣處理裝置應靠近GR、GC等特種氣體設備布置;

          特種氣體尾氣處理方法宜采用干式處理吸附、濕式洗滌、加熱分解處理、燃燒處理、等離子分解處理、稀釋處理及以上幾種方式的組合。

          Local Scrubber廢氣處理柜

          Local Scrubber(本地式小型廢氣處理柜)是近年來特氣系統使用非常廣泛的尾氣處理設備,該設備有電加熱燃燒、水洗滌等多用途組合,尾氣經過設備處理后,再進行排放,也是非常環保的生產方式。


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