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        特種氣體站房應該如何分類?

        2019-02-22

          特種氣體站房應該如何分類?

          特種氣體在半導體行業應用比較多,一些用氣量大的工廠需要建立特種氣體站房,特種氣體在分類和設計上需要注意很多問題。本文主要講特氣站房的分類。

          特氣體行業應用現狀

          目前,在國內外大環境形勢下,半導體產業如火如荼的發展。一方面,受美國等發達國家制裁,國內半導體行業遭遇了產品供應的難題,另一方面,國家大力扶持發展國有芯片和技術,很多新建廠房在大陸開花結果,星火燎原。那么建廠初期如何進行氣站的分類,一方面要結合現實情況,一方面要符合國標規定。

          特種氣體設計要求

          特種氣體應根據其物理化學性能及安全特性進行分類和工程設計。

          特氣站房分類

          蓋斯帕克氣體設計研究院在十一年的特氣設計案例中,結合GB-50646-2011規范總結出特氣站房的分類:

        特種氣體站房

          特種氣體站房分類規定

          1、可燃性特種氣體間應為甲類;

          2、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、氧化性氣體間應為乙類;

          3、惰性氣體間應為戊類;

          4、生產廠房內的特種氣體間根據氣體性質宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、惰性、氧化性氣體間等。

          5、硅烷、氨氣等大宗特種氣體的設備應布置在獨立的特種氣體站內。

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