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        特種氣體管道工程有什么特點

        2018-11-29

          特種氣體管道工程

          什么是特氣管道工程

          本詞條特指高純、超高純易燃易爆、毒腐性工藝氣體的管道輸送工程。

          特氣管道工程的特點

          1. 高壓

          2. 危險性高:毒腐、易燃易爆、自燃等

          3. 部分毒腐氣體呈液態

          實際案例

          某高校微電子研究院其ICP、PECVD等進口設備需要用到氫氣、甲烷、硅烷、氨氣、三氯化硼等易燃易爆、自然、有毒有腐蝕性的氣體。

          氣源設置在一樓特氣房,管道經管井垂直輸送至三樓、四樓實驗室設備處。蓋斯帕克項目組在此項目施工時充分考慮到現場環境和氣體特性,特殊氣體在氣房放置在特氣柜內,其有24小時不間斷排風、泄露偵測、壓力報警、火焰探測等功能,毒腐性液相氣體使用伴熱帶纏繞盤面,并使用雙套管輸送,內套管保持負壓,并有負壓監測。

        http://m.cinextur.com/content/916.html      管道經過管井到達室內后,特氣全部進入氣體分配箱VMB進行再分配,VMB可以將單一氣體壓力、流量調節至設備精準需求,最后進入設備使用。


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