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        簡析特氣管路設計方案

        2018-05-04

        一. SiH4氣體管道技術要求 (自燃、易燃類氣體)

        SiH4管道采用雙套管連接方式,內管使用SS316L EP(電子拋光)不銹鋼管,外管采用SS316LBA不銹鋼管,三通采用成品雙套三通,彎頭為套管自動焊接,內外管道連接采用自動軌道氬弧焊;設備、閥門無法蘭、卡套或螺紋連接, 終端隔膜閥采用VCR接頭;

        不銹鋼管應采用氬弧焊,為防止管道內壁產生氧化膜及塵埃粒子侵入,應通入經0.01μm~0.03μm過濾器過濾的潔凈氬氣保護;管道連接暫停施工時,應充高純Ar保護,管頭應用塑料管帽封堵; 

        管道系統試壓規定及要求 

        1) 強度實驗:實驗壓力0.6Mpa,實驗介質為高純氮氣,30min內壓力不降為合格; 

        2) 嚴密性實驗:實驗壓力0.5Mpa,實驗介質為高純氮氣,實驗時間24H,壓力不降為合格; 

        3) 氦檢測試:試驗介質為高純氦氣,泄露率1*10-9 atm.cc/sec 

        二. NH3氣體管道技術要求 (毒腐類氣體)

        NH3管道采用SS316L EP(電子拋光)不銹鋼管,三通采用成品三通,大于1/2”彎頭采用成品彎頭,小于1/2”彎頭采用彎管器施工,管道連接采用自動軌道氬弧焊;設備、閥門無法蘭、卡套或螺紋連接;管道全程恒溫伴熱; 終端隔膜閥采用VCR接頭; 

        不銹鋼管應采用氬弧焊,為防止管道內壁產生氧化膜及塵埃粒子侵入,應通入經0.01μm~0.03μm過濾器過濾的潔凈氬氣作保護;管道連接暫停施工時,應充Ar保護,管頭應用塑料管帽封堵; 

        3.管道系統試壓規定及要求 

        1) 強度實驗:實驗壓力0.6Mpa,實驗介質為高純氮氣,30min內壓力不降為合格; 

        2) 嚴密性實驗:實驗壓力0.5Mpa,實驗介質為高純氮氣,實驗時間24H,壓力不降為合格; 

        3) 氦檢測試:試驗介質為高純氦氣,泄露率1*10-9 atm.cc/sec


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