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        氣體控制面板的設計

        2020-08-24

          氣體控制面板的設計

          氣體控制面板是氣路系統中重要的一個控制單元,這里主要圍繞易燃易爆性、毒腐性、面板控制等介紹,包括特氣面板設計規范和作用等內容。  

          特氣輸送面板介紹

          特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來,經過高壓控制盤面時,都實現了一次調壓、過濾、流量穩定、吹掃、抽真空、壓力偵測等功能。不同的氣體和工藝需求,可以根據實際情況定制具體功能?,F階段,越來越多的高校實驗室引入了ICP、PVD、PEVCD等設備進行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究,這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體,對于氣源的控制要求非常高,也給供氣面板提出了很多要求。

          特氣面板設計規范

          1、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有緊急關斷閥門,并應為常閉氣動閥門,位置應靠近氣瓶;

          2、氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有過流開關;

          3、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置,真空管路應設止回閥;

          4、氣體面板應設置工藝氣體排氣口。


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