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        特氣系統和高純氣體系統應用及組成

        2020-08-19

          特氣系統和高純氣體系統應用


          特氣系統和高純氣體系統都是用來輸送氣體的。將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制,通過管道、無二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點。


          其基本流程是:氣源→管道→VMB→管道→用氣點


          特氣系統主要用于特氣輸送


          特氣柜主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體,特氣柜有一個外殼上有抽風管,當發生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產生更大危險。


          特氣系統的主要部分


          1、GC特氣柜。


          2、氣體分配用閥門箱。


          3、輔助氮氣吹掃系統。


          4、尾氣處理裝置。


          高純氣體系統應用


          高純氣體系統主要用于輸送純度要求比較高但是危險性較低的氣體


          高純氣體的主要部分


          1、GR氣瓶架。


          2、氣體分配用閥門分配盤(VMP)。


          當然一般特殊氣體要求也是高純的,所以特氣系統也可以用來輸送高純氣體,不過價格比較高。高純氣體系統不能用來輸送特氣,風險太大了。


          


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