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        產品名稱:
        16路閥門分配箱VMB
        產品型號:
        HSPVMB130616
        產品特點:
        ...
        400-900-9093
        sales@szgp.com.cn
        深圳寶安松白路 創維數字大廈12樓
        產品描述:

          名稱:閥門分配箱(Valves Manifold Box)

          規格:一進16出

          型號:HSPVMB130616

          ■ 特氣柜尺寸:W550寬×D500深×H600高

          ■ VENT排空管:1/2MVCR接口

          ■ 工藝氣體:1進N出(N=2~16)

          ■ 盤面規格:1/4"盤面

          ■ 標準配備:防爆防腐柜體,防爆自鎖門,防爆玻璃觀察窗,泄漏報警,主材SS316L

          ■ 箱體換氣量: 4"排氣口,SiH4-1200次/小時,其余300次/小時

          ■ 選配:外吹掃,抽真空,全自動控制,工藝氣體超壓報警,遠程切斷,盤面加熱及溫控裝置,泄漏報警,報警信號手機短信與電話通知

          適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。


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