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        產品名稱:
        閥門分配箱
        產品型號:
        HSPVMB130602
        產品特點:
        ...
        400-900-9093
        sales@szgp.com.cn
        深圳寶安松白路 創維數字大廈12樓
        產品描述:

        名稱:閥門分配箱(Valves Manifold Box)

        規格:一進多出

        型號:HSPVMB130602 

        ■ 特氣柜尺寸:W550寬×D500深×H600高 

        ■ VENT排空管:1/2MVCR接口 

        ■ 工藝氣體:1進N出(N=2~9) 

        ■ 盤面規格:1/4"盤面

        ■ 標準配備:防爆防腐柜體,防爆自鎖門,防爆玻璃觀察窗,泄漏報警,主材SS316L

        ■ 箱體換氣量:4"排氣口,SiH4-1200次/小時,其余300次/小時 

        ■ 選配:外吹掃,抽真空,全自動控制,工藝氣體超壓報警,遠程切斷,盤面加熱及溫控裝置,泄漏報警,報警信號手機短信與電話通知 

        ■ 適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。

        vmb閥門分配箱

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