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        電子特氣系統氣體及管路的維護

        2019-09-04

          電子特氣系統氣體及管路的維護

          由于特氣系統是一種具有高風險的供應系統,因此在生產線現場的維護需要專業、有經驗的技術員完成。特氣系統的維護主要包含特氣柜維護和管路維護。

          特氣柜維護

          特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護方法有一定的區別。全自動氣柜維護自動化程度較高,并且安全可靠。在維護前關閉鋼瓶閥門,設置換瓶吹掃,程序自動進行抽氣,置換等動作,根據氣體性質的不同,一般至少吹掃60次以上,負壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

          電子特氣系統管路維護

          管路的維護,由于不同的氣體性質不一樣,對管路維護的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge),一般至少反復30次,對于有吸附性的液態源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復的抽真空,抽完后關閉閥門,1小時后會出現壓力表回表的現象,會造成管道泄漏的誤導,遇到此情況打開真空器發生器繼續抽,直到沒有吸附氣體釋放為止。

          以上兩種系統維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負壓保壓為-12PSI,保壓時間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負波動。


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