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        特種氣體的類型及其儲存和使用

        2019-08-14

          特種氣體在實驗和工業生產中比較常見,那么特種氣體常見的種類有哪些,特種氣體儲存在哪里,特種氣體使用過程是怎么的?

          特種氣體種類

          特種氣體主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6等。其中大多數是腐蝕性、有毒和可燃氣體。

          特種氣體儲存和使用過程

          1.對于腐蝕性、有毒和可燃氣體,鋼瓶通常被設計成放置在特殊的氣體柜中(特氣柜)。

          2.然后,特種氣體通過管道供應到現場附近的閥門箱(VMB)。

          3.然后進入制程機的POU使用點。

          4.在進入機臺腔體之前,有獨立的氣體控制面板(GB,Gas Box)將連接到過程控制模塊,以控制進氣的流量控制和進氣混合比例。

          5.通常,這種氣體控制面板不屬于工廠管理系統的設計范疇,而是屬于加工機械設備的一部分。普通惰性氣體由開放式氣體架和閥門歧管板提供。


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