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        潔凈車間高純氣體管道工程安裝要求

        2019-08-12

          潔凈車間高純氣體管道工程安裝要求

          潔凈車間的氣體管道是指氫氣、氧氣、氮氣、壓縮空氣、氣體和高純氣體管道以及氣壓小于等于0.8兆帕的真空管道等一般氣體,高純氣體是指氣體純度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的氣體。高純、高純氣體管道的建設不同于普通工業管道。輕微的疏忽可能會損害氣體質量。

          一、高純氣體管道外觀檢查

          1、無裂紋、縮孔、褶皺、雙層皮等缺陷。

          2、無銹蝕、蝕斑等現象。

          3、管道平直圓滑,無局部凹陷、擦傷、擠壓等缺陷。

          4、管道內表面的“粗糙度”是否符合設計要求,螺紋處的密封和保護是否良好。

          5、采購的成品“內表面超光滑潔凈管”應有出廠合格證、相關等級證書和資質證書。顯微鏡檢查應隨機取樣,必須符合設計要求。

          6、檢查成品的外包裝是否為“帶內表面的超光滑潔凈管”,以及蓋、塞等密封措施。相應管道的末端滿足要求。

          7、法蘭密封面應平整光滑,無毛刺和徑向凹槽,凹凸法蘭應能自然貼合,凸面高度不得低于凹槽深度。

          二、高純氣體管道配管準備工作

          1、無論壓力有多大,何種介質和何種用途的管道,下料不得使用氧氣、乙炔火焰切割。無論是機械下料還是手動下料,不得在型材上涂抹油脂或潤滑劑。

          2、各種閥門安裝前應清洗干凈,清洗前應打磨、試壓合格,然后拆成零件,并在三氯乙烯或四氯化碳溶劑中浸泡1 ~ 1.5小時。安全閥清洗后應重新測試。

          3、使用普通不銹鋼管時,如果表面有油污,安裝后很難清洗。原管道應放入清洗槽中清洗。管道內壁的酸洗工作必須確保去除的腐蝕零件不會損壞未腐蝕的表面。

          4、氧氣管道閥門、附件等。應嚴格禁止加油,并按照相關要求在安裝前嚴格脫脂。

          三、高純氣體金屬管路連接方式

          1、焊接。原則上,高純度和高純度氣體管道是焊接的,但不能直接對接焊接。應使用套管接頭。

          不銹鋼管的焊接:采用氬弧焊,將相同純度的氬氣引入管內,防止焊接部位氧化。

          鋼管焊接:40%銀電極、氮氣保護焊、與工藝氣體純度相同的氮氣引入管道。然而,應該注意的是,一旦氮氣中斷或氮氣純度降低,焊接接頭附近將產生氧化銅,這可能導致表面潤濕。因此,銅管焊接后,用浸有丙酮的紗布來回擦拭管子內部,以消除焊接處可能產生的氧化物。

          2、螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接好,不適合連接高純度、高清潔度的氣體管道。螺紋連接中使用的密封填料殘留物有吸入氣體的危險,當擰緊內外螺紋時,金屬之間的摩擦會產生金屬塵粒,污染氣體。如果確有必要,當銅及銅、銅及銅合金配件有螺紋時,應在外螺紋上均勻懸掛一定量的焊條,以提高密封效果,盡可能減少金屬粉塵。

          3、法蘭連接。螺紋或法蘭接頭的密封材料應為聚氯乙烯。為了確保密封效果,墊圈上應涂少量氟橡膠(白色,室溫固化)。


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