<noscript id="0hvc5"></noscript>
  • <table id="0hvc5"></table>

        <optgroup id="0hvc5"><input id="0hvc5"></input></optgroup>

        <dd id="0hvc5"><input id="0hvc5"></input></dd>
        <ruby id="0hvc5"></ruby>
        歡迎走進蓋斯帕克氣體技術!
        中文  |  English

        CVD設備的scrubber的功能原理及其安裝位置

        2019-08-10

          CVD設備的scrubber的功能原理及其安裝位置

          CVD設備scrubber的功能

          CVD設備scrubber基本上是專門為CVD設備尾氣處理設計的裝置。CVD尾氣通常含有大量顆粒和難以處理的未反應、爆炸性、易燃性或毒性氣體廢氣。scrubber是一種專門為減少后端處理的麻煩和安全性而設計的裝置??墒褂镁植縮crubber專用CVD設備單臺或多臺,

          scrubber設備廢氣處理方式(處理廢氣原理)

          scrubber設備處理廢氣主要通過燃燒型、加熱型、等離子型,水洗等流程,根據情況不同選用的處理方式也不同。

          scrubber根據不同的工藝產生不同的尾氣;選擇不同的處理方法!

          1、scrubber該設備包括電加熱型、氣體型、吸附型和等離子體型。吸附型需要更換吸附桶,使用起來相對昂貴,但維護起來最方便。

          2、通常,可以加熱水洗型,并且可以使用水洗加熱再水洗型。SiH4在燃燒后與SIO2反應。NH3與水反應生成晶體。NF3、WF3、SIF4、C2F6的離子鍵在燃燒后會打開,與水反應生成氟化氫。

          scrubber設備的安裝位置

          scrubber設備通常安裝在設備真空泵和廢氣排放總管之間。有毒有害廢氣由真空泵抽至scrubber設備進行處理,然后排放出去。


        久久精品观看_在线国产91_国产亚洲欧美精品久久久_成人国产精品999视频