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        實驗室高純氣體管道設計要求

        2019-07-16

          實驗室高純氣體管道設計要求

          實驗室高純輸送對氣體管道設計要求非常嚴格,只有嚴格按照要求規范制作的設計方案才能更好的保持氣體的純度。

          實驗室高純度氣體管道設計要求規范

          1. 對于不同性質的氣體,需要規劃一個獨立的供應區域,一般分為腐蝕/有毒氣體區、易燃氣體區和惰性氣體區三個區域, 同樣性質的氣體,要集中管理。易燃氣體區域應特別規劃防爆墻和泄漏口。如果空間不足,可以將惰性氣體放置在有毒/腐蝕性氣體區域。

          2 、管道設計需要考慮運輸距離。距離越長,成本越高,風險也越高。通常較為合理的設計流速為 20 ml/s,可燃氣體小于 10 ml/s,毒性/腐蝕性氣體小于 8 ml/s。在用量設計方面,需要考慮使用點的壓力和管道直徑。前者與氣體性質有關,后者使用點的管道直徑一般為 1/4 "~ 3/8"。

          3. 根據氣體設備的分布情況,純度較高的氣體管網不宜過大或過長; 使用未封閉的圓形管道在系統末端連續排放少量氣體是合適的,為了使管網內有較高的純度氣體循環,不會出現造成較高純度氣體污染的 “死空間”。

          4. 非流動氣體的 “死空間” 應在管道中減少,在專用儲氣瓶和氣體設備之間不提供盲管, 應該設置凈化控制裝置、多閥控制裝置來控制每個閥的切換順序,系統吹掃,確保供氣系統安全可靠運行,防止因 “死區” 的形成而導致污染物滯留,降低氣體純度。

          5. 對于純度要求不同的氣體設備,建議采用不同等級的純度氣體輸送系統; 但也可以采用相同等級的輸送系統, 在純度要求較高的氣體設備附近設置終端氣體凈化裝置。

          6. 為了檢測高純度氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續測試儀器,如測量含水量或氧氣雜質含量之外,定期取樣的試驗取樣口也應按規定時間設置好取樣口,并對純度較高的氣體中各種雜質的含量進行分析。

          7. 在亞微米集成電路的生產中,需要提供 10-9 級的高純度氣體, 為了保證氣體工藝設備末端氣體的純度,使氣體中的雜質含量 (包括粉塵顆粒) 控制在規定的值以內,末端凈化裝置一般設置在裝置的前面,或者末端高精度氣體過濾器


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