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        實驗室高純供氣系統作用及管路設計安裝

        2019-07-15

          實驗室高純供氣系統作用及管路設計安裝

          實驗室供氣系統

          實驗室供氣系統雖然投資份額相對較小,但對實驗環境的安全性有重要影響。

          1、氣瓶必須采取專業通風、防爆措施;

          2.氣路系統應配備泄漏報警、緊急切斷和強排風等。

          3.為了保證氣體的純度和氣壓的穩定性,必須進行多級減壓供氣,并提供氣路吹掃和排空等設施。氣體泄漏檢測方法

          實驗室供氣系統作用

          滿足不同實驗的要求和安全性。采用匯流排供氣設備對雙瓶進行手動、半自動和全自動切換功能,配有低壓報警裝置實時監控氣體壓力、濃度檢測報警和排氣,確??蛻粽S脷夂蜕敭a安全。

          高純氣體管道設計要點

          1.對于具有不同特性的氣體,應規劃單獨的供應區域,通常分為三個區域:腐蝕性/毒性氣體區域、易燃性氣體區域和惰性氣體區域。應集中和加強對氣體具有相同特點的管理。易燃性氣體區域應特別規劃防爆墻和泄漏口。如果空間不足,可以考慮惰性氣體區域和有毒/腐蝕性氣體區域。

          2.管道設計需要考慮輸送距離。距離越長,成本越高,風險也越高。一般來說,更合理的設計流量為20毫升/秒,可燃性氣體小于10毫升/秒,毒性/腐蝕性氣體小于8毫升/秒。在劑量設計方面,需要考慮使用點的壓力和管徑。前者與氣體特性有關,而后者使用時的管徑一般為1/4 "~ 3/8 "。

          3.根據用氣設備的分布情況,高純度氣體管網不應過大或過長;建議采用未封閉的環形管道,并在系統末端連續排放少量氣體以便高純度氣體始終在管網中循環,不會出現“死區”造成的高純度氣體污染。

          4.管道中不流動的“死區”氣體應減少。不應提供盲管。應在專用氣體儲氣瓶和氣體設備之間設置吹掃控制裝置、多閥控制裝置、各閥的開關順序和系統吹掃,以確保供氣系統的安全可靠運行,并防止形成“死區”以保留污染物并降低氣體的純度。

          5.對于對高純度氣體純度有不同要求的用氣設備,應采用分級高純度氣體輸送系統。也可以使用相同等級的輸送系統,但是在具有高純度要求的氣體設備附近設置了終端氣體凈化裝置。

          6.為了檢測高純度的純度和雜質含量氣體,輸送系統應配備必要的連續檢測儀器,如測量水含量或氧雜質含量的分析儀,還應配備定期取樣的檢測取樣口,以便按規定時間取樣,并分析高純度的各種雜質含量氣體。

          7.在亞微米集成電路生產中,需要提供10-9級高純度氣體。為了確保終端氣體處理設備中氣體的純度,并將氣體中的雜質含量(包括灰塵顆粒)控制在規定值內,通常在設備前面安裝終端凈化裝置或終端高精度氣體過濾器。

          實驗室高純氣路的安裝要求

          1.所有氣體管道由高質量、完全退火的無縫不銹鋼管(BA級)組成。銅管僅用于氣體管道末端,對氣體的純度要求不太嚴格。(例如通風櫥)。

          2、氣體安裝管道不得敷設電纜和導線。

          3.易燃氣體,如乙炔需要與其他氣體分開引入。如果氫氣管道與其他可燃氣體管道平行敷設,其間距不得小于0.5M交叉敷設時間間隔不小于0.25米,分層敷設時氫氣管道應位于上方。

          4.壓縮空氣有凈化裝置,用于過濾管道上的雜質和水分。凈化裝置需要并聯連接,并通過單獨的閥門分開,以便于過濾裝置的維護。

          5.高純度氣體管道的連接采用無縫焊接。接頭配件只能在連接到閥門或調節裝置時使用。

          6、每個實驗室應有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

          7.通向工作臺的氣體管道應安裝單獨的控制閥。各種氣體控制閥應均勻排放在工作臺上。建議在氦氣管道前安裝氣體凈化裝置。

          8.每1.5m左右,氣體管道需要支撐。此外,根據氣體管道的彎曲半徑,設置適當的支架位置。必須支持所有彎曲。氣體管道安裝管道的所有支架均應鍍鋅防腐處理。


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