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        硅烷全自動特氣柜功能及設計規范

        2019-07-11

          硅烷全自動特氣柜

          硅烷越來越廣泛地應用于高科技行業。由于硅烷是非常危險的氣體,所以硅烷特氣柜是必不可少的,硅烷全自動特氣柜有什么作用?硅烷特氣柜的設計要求是什么?

          硅烷功能及用途

          1.一系列含硅物質如單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅和氧化硅可以由硅烷制備。

          2.使用硅烷可以實現高純度、精細控制(原子級)和靈活多變的化學反應。從而使各種含硅材料可以根據不同的要求制成復雜精細的結構,這是具有各種特定功能的現代材料和器件所需要的基本條件。

          硅烷全自動特氣柜的功能

          硅烷特氣柜主要用于硅烷這類易燃爆特殊氣體供應而設計出來的一種供氣系統。能夠實現全自動切換供氣,配合氣體泄漏探測器、火焰探測器等組成一套系統。

          硅烷特氣柜及系統設計規范

          1.硅烷由于其極度危險,整個系統應配備獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃,不允許管道氮氣吹掃。

          2、應配備惰性吹掃裝置、氣體泄漏探測器、火焰探測器等。;

          3.硅烷系統的排氣管不得連接至排氣系統;

          4.排氣管應連續用惰性氣體吹掃,吹掃氣體的流速不應小于0.3m/s

          5.當廢氣濃度硅烷相對較高時,廢氣應通過燃燒型廢氣處理裝置進行處理,然后排放到大氣中。


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