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        高純氣體管路閥門及管件相關介紹

        2019-03-16

          高純氣體管路閥門及管件相關介紹

          高純氣體輸送管路系統的質量好壞,將會直接影響到高純氣體的純度、潔凈度、干燥度。因此,對于高純氣體輸送系統的設計、選材、加工制造、潔凈處理及安裝使用過程中的各環節嚴格控制都有十分重要的意義。

          高純氣體輸送管路閥門的選用

          高純氣體對系統所用閥門的嚴密性有十分嚴格的要求,目前國內潔凈廠房的高純氣體管道的閥門基本都采用SS304或SS316L不銹鋼材質,閥門型式有隔膜閥、波紋管閥和球閥。波紋管閥的嚴密性比球閥好,在氣體流過閥門時沒有與外環境接觸的填料,所以沒有滲漏現象:隔膜閥除了嚴密性與波紋管閥相當以外,還具有閥體死體積小,易吹除且污染少,所以適用于對氣體純度和生產工藝要求極嚴格或者危險性大的氣體。

          1、高純氣體一般采用手工氬弧焊接和自動氬弧焊接,焊接型式通常采用承插焊和對焊,承插焊的好處在于施焊時管道的對中,方便焊接,但缺點是由于管道與承插口之間有間隙,會存在“死空間’不易將雜質吹除,影響高純氣體質量。因此對于要求極為嚴格的高純氣體來說,應采用對接焊連接并要求內表面無焊縫,即在施工時不得使用不銹鋼焊絲,利用母材的本身融化填滿焊縫。

          2、為確保輸送至用氣設備的氣體質量,高純氣體管道與用氣設備之間應用不銹鋼金屬軟管連接,不宜采用非金屬軟管。

          3、高純氣體管道與閥門等附件連接應采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接,常用的接頭方式有兩種:分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok),VCR采用優良的金屬墊,利用縱向壓力壓緊,因此泄漏率極低,約為10~9A cc/s,且耐壓較高,常用于氣體雜質含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統,而SWG則不如VCR,耐壓較低,基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。

          高純氣體管道連接種類及各自特點

          螺紋連接

          螺紋連接對大宗氣體,且純度要求不高的氣體管道,當采用鍍鋅鋼管時 ,采用螺紋連接。 螺紋連接的密封材 料采用聚四氟乙烯密封帶 ,不得采用傳統的油麻。密封帶纏繞要得當。不能纏繞的太厚、過長,纏繞太厚或纏繞過多超出管螺紋端頭坡 口的話,在螺紋旋緊時,密封帶會被絲咬切下,落人管道內形成較大的污染物,因此端口螺紋從坡口始,留出2- 3 個凸牙不纏繞密封帶是必要的。

          對接焊 、承插焊或套管式接

          1、對于要求純度很高的管道,采用內壁無瘢痕的對接焊 。高純氬氣保護焊。

          2、對于純度要求相對低一些的管道可以采用承插焊或套管焊,承插焊由于氣體殘留空間比較大 。吹凈比較困難 ,現在比較多的采用套管焊接。 套管焊接應使套管和主管具有同等材料和內表面等級, 結合部的間隙不能過大,重疊部分也不宜過長,較為合適的重疊長度在 5mm內。 套管內管加工時,應使主管過盈 ,這樣主管被套管緊緊包裹后施焊,焊渣不會落人管內。而且氣體死空間也小, 容易吹凈 。

          高純氣體管道組成件存放要求

          按品種、材質、規格、批次劃區存放;不銹鋼與碳素鋼、低合金鋼管道組成件不得接觸;室外存放的管道組成件應設置支、墊層;施工現場存放的材料應擺放整齊,標識清楚,專料專用。管道組成件發放時,應核對材質、規格、型號、數量、標識。材料切割前應做好標識移植。

          高純氣體供應的3種形式

          1. 現場制氣,管道輸送供氣;

          2.外購液態氣體,氣化后管道輸送供氣;

          3.外購氣體鋼瓶,用氣體鋼瓶(組)供氣。某個工程,采用何種方式 ,主要根據工廠的生產規模及氣體耗量、用氣質量,以及工廠所在城市或區域的氣體市場供應等因素經過技術經濟比較后確定。


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