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        氣體管道工程氣體存放及輸送系統調試

        2019-03-16

          氣體管道工程氣體存放及輸送系統介紹

          氣體管道工程是輸送氣體的一種工程,本文主要介紹下氣體管道工程組成及氣體種類,不同種類的氣體該如何存放,氣體輸送系統調試及檢驗方法都會提到。

          氣體管道工程的組成件有哪些?

          1、氣體管道組成件(管子、閥門、管件、法蘭、補償器、密封墊片、緊固件、膨脹接頭、撓性接頭、耐壓接頭、耐壓軟管、疏水器、過濾器、分離器等)、

          2、管道支承件包括安裝件(吊桿、彈簧吊架、斜拉桿、平衡錘、松緊螺栓、支撐桿、鏈條、導軌和錨固件以及負荷式固定件,如鞍座、底座、滾柱、托架和滑動支座)和附著件(管吊、吊耳、卡環、管夾、U 形夾、緊固夾板和裙式管座),

          3、管道的焊接材料(焊條、焊絲、焊劑、保護氣體)等應按管道系統配套按工期要求供貨,滿足施工進度。

          4、其他材料如玻璃鋼、橡膠、塑料、油漆、隔熱(保熱或保冷)材料、防水材料、防腐材料等,能保證按工期要求供貨。

          行業氣體的分類

          普通氣體,也稱大宗氣體 (Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等

          特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等

          特種氣體存放及使用

          針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet)內,再透過管路將氣體供應至現場附近的閥箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再進入制程機臺的使用點(POU, Point of Use),于進入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯機,以質流控制器(MFC, Mass Flow Controller)進行流量之控制與進氣的混合比例控制,通常此氣體控制盤不屬于廠務系統的設計范疇,而是歸屬制程機臺設備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP, Valve Manifold Panel)進行供應。

          氣體輸送系統調試、測試要求:

          1、強度實驗:管內沖人高純氮氣使壓力到達0.8MPa,保持此壓力如10min內壓力不降為合格;

          2、嚴密性實驗:管內沖人高純氮氣使壓力到達0. 5MPa,保持此壓力如30min內壓力不降為合格;

          3、潔凈測試:管路中沖人純氮,關閉所有閥門,打開末端閥用一張白布放在管口一分鐘如白布上無雜質和水分即為合格。


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